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            CVD氣相沉積的材料特性和功能特點介紹
               CVD氣相沉積采用雙層殼體結構和40段程序控溫系統,移相觸發、可控硅控制,爐膛采用氧化鋁多晶體纖維材料,管式爐雙層爐殼間配有風冷系統,能快速升降溫,采用99剛玉管、兩端用不銹鋼法蘭密封,用浮子流量計控制進氣流量、該爐具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節能等優點。適用于銅鎢合金、鋁鎳鈷永磁、釹鐵硼、碳纖維石墨化,碳碳復合材料,碳化硅制品,鎢鉬及其他合金材料的真空或氣氛高溫燒結,也可作為其他金屬材料的熱處理及氣相沉積。
             
              CVD氣相沉積爐管為定制下細上粗不銹鋼管,爐管內部配置一嵌有一多孔石英板的石英舟,石英板的孔徑可單獨定制。粉末可放在多孔石英板上,氣體從下而上穿過粉末顆粒,當氣流速度達到或超過顆粒的臨界流速時料層中顆粒呈上下翻騰,在一定溫度和氣氛下,充分反應沉積。
             
              CVD氣相沉積的功能特點:
              1、采用純微波加熱、~傳統電加熱或混合加熱方式,可加熱包括金屬在內的非易燃易爆材料,
             
              2、升溫速率快,智能控溫,可分段設置,控溫穩定度好,熱慣性小。同時加熱多個溫區,且加熱區長度可調。
             
              3、可通各種氣氛,抽真空有機械泵、擴散泵和分子泵,可達真空狀態。
             
              4、爐體采用不銹鋼密封法蘭(鉸鏈結構);
             
              5、保護管采用合金管,氣管采用卡套或VCR接口,安裝方便;
             
              6、爐體配有自動冷卻風扇,降低溫度;
             
              7、真空系統:機械泵擴散泵和分子泵,真空密度計
             
              8、可通過電腦全程監控和調試。
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