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GSL-1700X-HVC1700℃二通道混氣真空CVD氣相沉積
1700℃二通道混氣真空CVD氣相沉積介紹:是一款CE認證的二通道高真空CVD系統,它是由二路質子混氣系統和高真空機組組成,其最高工作溫度可達1600℃,極限真空度可達 to 10^-5 torr?;鞖庀到y可以對兩種氣體進行精確的混氣,然后導入到管式爐內部。
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